一、个人基本情况
石军,男,汉族,湖北武汉人,1978年05月出生,工学硕士,讲师。
主要从事半导体设备控制系统方面的研究工作,发表学术论文十余篇,SCI/EI收录7篇,出版学术专著1部。
二、承担课程
本科生:《微控制器原理与接口技术》《区间信号自动控制》《数据库应用与实践》
三、研究方向
半导体后道制程设备电气、软件控制系统研究;
半导体晶圆图像对准、图像检测算法研究
半导体设备生产状态监测智能化研究
四、近年科研项目、代表性论著、发明专利、荣誉与获奖
1.科研项目
[1] 郑洛新自创区产业集群专项, 双轴全自动晶圆切割划片机的研发与产业化,2020.01-2023.12
[2] 国网河南省电力公司新野县供电公司,开关柜状态实时智能检测与识别技术服务, 2021.01-2021.12
2.代表性论著
[1] An adaptive genetic algorithm optimize neural networks approach for wafer dicing saw quality prediction
[2] Tool life prediction of dicing saw based on PSO BP neural network
[3] Optimization method of cutting parameters of wafer dicing saw based on orthogonal regression design